適用產業:
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半導體與高科技電子業:包含電子零件、晶圓製造前段與後段製程。
- 光電與 LCD 面板製造:包含液晶面板廠房與各式光電生產線。
- 無塵室與高科技廠務工程:專注於電子廠與製藥廠的基礎建設。
- 化工與實驗室:涵蓋化學處理製程與生技實驗室高溫排風。
- 重工業與汽車工程:針對鍋爐、加熱爐製造與車輛排氣檢測。
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自動化乾燥設備製造業:各類中高溫烘烤與乾燥機台製造端。
具體應用:
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無塵室設備二次配管 (Hook-up) 應用於電子與製藥廠內部,銜接各類高階製程機台與廠務主排氣系統間的點對點二次高溫配管。
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熱處理與沉積設備 (Thermal Processing & Deposition) 專用於晶圓烘烤爐、高溫擴散爐、CVD 及 ALD 設備,安全抽排製程中產生的極端高溫廢氣與反應副產物。
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塗佈 / 顯影設備 (Coater / Developer) 對應光阻塗佈後的軟烤/硬烤製程線、自動化熱風乾燥設備,以及液晶面板廠的大型玻璃基板烘乾線通風管路。
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乾式蝕刻設備 (Etch Systems) 穩定抽排蝕刻殘留的高溫化學氣體,其高流暢的管內工藝可有效避免製程反應副產物於內壁冷凝結晶。
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單晶圓清洗設備 (Cleaning Systems) 針對高溫化學清洗(如 SPM、SC1 蒸汽)或乾式清洗後的極端熱氣與化學煙霧,提供安全耐腐蝕的抽吸路徑。
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設備內部的共通次系統 彈性安裝於各機台內部的局部加熱模組、冷卻氣體循環系統等狹小、高彎曲度的局部空間管路中。
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化工與實驗室高溫抽風 專為特殊化學煙霧與極端熱氣設計,提供理化實驗室排煙櫃、生技反應釜等 450℃ 以內乾燥煙霧之安全抽吸。
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高溫工業機械送排風 作為各式工業加熱爐、熱交換機、燃油/燃氣鍋爐,以及汽車尾氣檢測系統之極限溫度排風路徑。
- 晶體烤箱 (Crystal Oven / Semiconductor Baking Oven) 應用於後段封測固化與烘烤設備,高效抽吸封裝銀膠、環氧樹脂受熱揮發出之高溫化學煙霧與有機廢氣
- 封裝體檢查機 (IC Package Inspection System) 適用於高精密自動化光學/X-Ray 檢查機台,滿足高潔淨無塵室標準,並安全排解設備內部次系統之局部散熱。
產品構造:
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管壁材料:精選銀白色耐高溫、無塵級不鏽鋼薄片(厚度 0.05mm)
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補強支撐:內部結構由寬 8mm、厚 5mm 的凹槽形不鏽鋼支撐金屬片構成,運用精密機械進行螺旋型連續緊密夾扣製成。結構牢固,在高溫熱流下不變形。
- 精密可微彎曲定位:本管專為固定式配管與機台內部定型設計,微彎曲性能極佳,極易於限域空間與複雜夾角內施工裝配。
- 極限耐高溫與極致無塵:不鏽鋼材料,耐高溫、耐腐蝕,亦不釋放任何化學落塵
- 科技金屬美觀外觀:外觀呈現精緻的銀白色高科技金屬質感,管體表面細緻,配管走線俐落,完美提升半導體設備整體的高階整合美學。
顏色:銀色
工作溫度範圍:攝氏 -70°C 至 +450°C(華氏 -94°F 至 +842°F)
交貨規格:ø 2”- 10”/ 長度: 2M安全防護提醒: 注意!本軟管的兩端裁切處為鋒利的金屬邊緣,安裝時應特別小心使用。
強烈建議工程人員在進行裁切、配管與管束連接作業時,務必佩戴專業防割手套,以確保施工過程的安全。







